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國內(nèi)首臺基于DPSS激光器的OLED剝離設備研發(fā)成功
  • 發(fā)布日期:2023-08-07     信息來源:公司新聞      瀏覽次數(shù):1809
    •   激光剝離(Laser-Lift-Off)作為柔性OLED制程的核心工藝之一,長期被韓國設備供應商所壟斷。亞威艾歐斯通過引進技術再創(chuàng)新,與德國通快公司密切合作,大幅縮短了研發(fā)進程,在關鍵指標和工藝性能方面均達到進口設備水平。
       
        我司DPSS-LLO激光剝離設備的研制成功,標志著先進激光技術的應用在國產(chǎn)化進程中取得了重要突破。
       
      【DPSS激光剝離設備】
       
        DPSS激光剝離是指通過固體納秒紫外激光輻照,實現(xiàn)有機發(fā)光顯示器件(PI膜)與搭載的玻璃基板分離,與傳統(tǒng)的準分子脈沖激光剝離相比,具有能量輸入穩(wěn)定、生產(chǎn)效率高、不需要定期更換工作氣體等優(yōu)勢。
       
        據(jù)媒體報道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO設備,因DPSS技術較準分子激光器使用和維護成本低,并可以減少設備采購總數(shù)量。
       
      【激光剝離工藝示意圖】
       
        亞威艾歐斯激光剝離設備搭載的DPSS激光光學系統(tǒng),能量利用率達85%以上。中德韓聯(lián)合研發(fā)的“Z”型折疊光路,將整個線光斑光學系統(tǒng)長度縮短30%。該系統(tǒng)整形后的線光斑長度400-750mm(可調(diào)節(jié))、寬度30μm,可同時應對黃色和透明PI兩種產(chǎn)品的激光剝離工藝,且工藝品質(zhì)及加工效率有大幅度提升。
       
      【光路示意圖】
       
      【線光斑】
       
      【激光剝離柔性顯示屏樣品】
       
        亞威艾歐斯激光剝離設備,已對國內(nèi)數(shù)家顯示面板廠商提供的樣品進行了測試,效果良好,達到客戶技術要求。
       
        隨著顯示面板企業(yè)對使用成本和效率要求的不斷提高,導入DPSS激光剝離工藝是大勢所趨,亞威艾歐斯將繼續(xù)努力并與客戶密切協(xié)同,加快實現(xiàn)量產(chǎn)交付,為柔性OLED制程關鍵設備的進口替代做出貢獻。

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